Технологія Grgtest FIB забезпечує точний контроль якості
У таких галузях, як матеріалознавство, електронне виробництво та інженерія поверхні, вимірювання товщини плівки є критичним кроком у забезпеченні якості та продуктивності продуктивності . Точність товщини плівкового шару безпосередньо впливає на надійність, функціональність та тривалість життя., однак вимоги .
Дилема традиційних методів тестування товщини плівки
1. Товщина виявлення дзеркала зразка: Підготовка зразка складна, а точність обмежена
To measure the thickness of a sample, it must first be sealed with epoxy resin, then ground and polished with sandpaper, and finally measured using a microscope. This process demands a high level of sample preparation, ensuring that there is no delamination between the film surface and the sealing material. The epoxy resin sealing process releases a significant amount of heat, which can adversely affect the thermal-sensitive film шар .
2. XRF Вимірювання товщини флуоресценції: вузький діапазон застосування, недостатня точність
Вимірювання товщини флуоресценції XRF повинно мати стандартні шматки, що відповідають діапазону металу та товщини, і не можуть одночасно вимірювати товщину неметалічних плівок ., як неруйнівний метод тесту, помилка точності є великим у рівні нижче 100 нанометрів, що складно відповідати вимогам високого точного виявлення.}}}}
Технологія FIB: пробити обмеження традиційного, відкрийте нову главу точного виявлення
GRGTEST employs FIB (focused ion beam) technology, which, with its unique working principle and significant advantages, offers a revolutionary solution for film thickness testing. This technology uses electromagnetic lenses to focus the ion beam into an extremely small size, resulting in a highly precise and energetic beam. By bombarding the sample surface with a high-energy ion beam, the sputtering effect is виробляється, ефективно видаючи матеріал за допомогою травлення .
- Для чутливих органічних плівок та інших зразків технологія FIB може осаджувати захисний шар, значно зменшив вплив процесу травлення на зразок, повністю уникнути проблеми теплової напруги, що утворюється під час затвердіння епоксиду, і переконайтеся, що продуктивність термічно чутливого шару плівки не пошкоджена .}
- Проблема розширення плівки принципово уникається за допомогою травлення іонного променя .
- На додаток до відомих елементів захисного шару, технологія FIB не вводить інших елементів під час тестового процесу і може повністю уникнути перешкод зовнішніх елементів забруднення в процесі підготовки зразка до аналізу поверхневих або внутрішніх компонентів плівкового шару .
